・ミクロン単位位置制御装置（ピエゾ素子ドライバー ）

・データ処理関連（ＶＭＥ、マルチバスボード ）

・制御コンソール関連（キーボード、マウスＩ／Ｆ）

・主電源立ち上げ装置（ＡＣ、ＤＣ電源　非常停止機能）

・周辺機器（移載機、ロボット関連）